QV ACCEL 808/1010 là máy đo tọa độ không tiếp xúc cỡ lớn thích hợp để đo các phôi lớn, mỏng.
- Có thể đặt hàng kiểu máy phù hợp nhất với phôi trong dải đo 800×800 mm đến 1500×1750 mm.
- Trong phép đo, việc tăng và giảm tốc độ cao đạt được bằng cách áp dụng phương pháp truyền động trung tâm.
- Nhờ thiết kế giàn chuyển động của QV ACCEL, bệ đỡ không cần di chuyển, nhờ đó việc cố định phôi có thể được đơn giản hóa.
Thông số kỹ thuật:
| Model No. |
QV ACCEL 808 | QV ACCEL 1010 | ||
| Measuring range (XxYxZ) |
800x800x150 mm | 1000x1000x150 mm | ||
| Observation unit |
Programmable power turret 1X-2X-6X | |||
| Imaging device |
B&W CCD (1/2 inch) |
|||
| Accuracy | E1X, E1Y |
(1.5+3L/1000) µm |
||
| E1Z |
(1.5+4L/1000) µm | |||
| E2XY |
(2.5+4L/1000) µm | |||
| Repeatability |
Short dimensions | XY axis | 3σ≤0.2 µm | |
| Long dimensions | 3σ≤0.7 µm | |||
| Tracking auto focus device |
Optional |
|||
