- Máy đo biên dạng CS-5000CNC/CS-H5000CNC được trang bị đầu dò có độ chính xác cao cho phép đo hàng loạt độ nhám bề mặt và biên dạng.
- Trục X1 và Z2 có tốc độ truyền động tối đa lần lượt là 40 mm/s và 200 mm/s, điều này cho phép định vị tốc độ cao và giúp tăng công suất của các tác vụ đo nhiều biên dạng/nhiều phôi.
- Một thang đo laser Mitutoyo được tích hợp trong trục X1 và Z1 để đạt được độ phân giải cao, có thể thực hiện phép đo hàng loạt về hình dáng/biên dạng và độ nhám bề mặt.
- Phương thức điều khiển chủ động được sử dụng cho máy dò trục Z1 để thực hiện khả năng đo phạm vi rộng trong đó hạn chế sự thay đổi bởi lực đo động.
- Vì máy dò trục Z1 tích hợp thiết bị an toàn chống va chạm, bộ phận phát hiện sẽ tự động dừng nếu nó chạm vào phôi hoặc vật cố định.
- Đối với các kiểu máy có trục α, có thể thực hiện phép đo liên tục trên các bề mặt nằm ngang và nghiêng bằng cách nghiêng trục X1. (Chỉ CS-5000CNC)
- Đối với các kiểu máy có bảng trục Y, có thể mở rộng phạm vi đo cho nhiều phôi thông qua việc định vị theo hướng trục Y.
- Chức năng điều khiển bên ngoài tùy chọn (Ext I/O) thông qua giao tiếp hai chiều (RS-232C) với PLC (bộ điều khiển logic khả trình).
Thông số kỹ thuật:
| Model No. | CS-5000CNC | CS-H5000CNC | ||
| X1 axis | Measuring | 200 mm | ||
| Resolution | 0.005 µm | |||
| Scale type | Transmission-type linear encoder | |||
| Drive speed | CNC mode | Max. 40 mm/s | ||
| Joystick mode | 0 to 40 mm/s | |||
| Measuring speed | 0.02, 0.05, 0.1, 0.2 mm/s (surface roughness), 0.02, 0.05, 0.1, 0.2, 0.5, 1.0, 2.0 mm/s (form/contour) | |||
| Measuring direction | Forward/backward | |||
| Straightness | (with standard stylus) | (0.1+0.0015L) µm L: traverse length (mm) | (0.05+0.0003L) µm L: traverse length (mm) | |
| (with 2X-long stylus) | (0.2+0.0015L) µm L: traverse length (mm) | (0.1+0.0015L) µm L: traverse length (mm) | ||
| Accuracy (20 oC) | ±(0.3+0.002L) µm L: traverse length (mm) | ±(0.16+0.001L) µm L: traverse length (mm) | ||
| α axis | Inclination range | -45o (CCW), +10o (CW) | — | |
| Z1 axis (Detector) | Measuring range | (with standard stylus) | 12 mm | |
| (with 2X-long stylus) | 24 mm | |||
| Resolution | (with standard stylus) | 0.0008 µm | ||
| (with 2X-long stylus) | 0.0016 µm | |||
| Vertical movement of the stylus | Arc motion | |||
| Scale type | Transmission-type linear encoder | |||
| Accuracy (20 oC) | ±(0.3+|0.02H|) µm H: probing height (mm) | ±(0.07+|0.02H|) µm H: probing height (mm) | ||
| Measuring force | (with standard stylus) | 4 mN (Fixed) | ||
| (with 2X-long stylus) | 0.75 mN (Fixed) | |||
| Traceable angle | Ascent: 60o, Descent: 60o, (Depends on the surface texture) | |||
| Stylus tip shape | Standard stylus | Tip angle: 40o, Tip radius: 5 µm, Diamond tip | ||
| Standard ball stylus | Tip ball radius: 0.25 mm, Sapphire | |||
| 2X-long stylus | Tip angle: 40o, Tip radius: 5 µm, Diamond tip | |||
| 2X-long stylus | — | Tip angle: 60o, Tip radius: 2 µm, Diamond tip | ||
| 2X-long ball stylus | Tip ball radius: 0.25 mm, Sapphire | |||
| Face of stylus | Download | |||
| Z2 axis (Column) | Travel range | Z2 axis (column, type S) | 300 mm | |
| Z2 axis (column, type H) | 500 mm | — | ||
| Resolution | 0.05 µm | |||
| Scale type | Reflective-type linear encoder | |||
| Drive speed | CNC mode | Max. 200 mm/s | ||
| Joystick mode | 0 to 50 mm/s | |||
| Base size (widthxdepth) | 750×600 mm | |||
| Base material | Gabbro | |||
