- 画像＋WLI光学ヘッドが今までにない高効率と高精度を可能にしました。
- 白色光干渉計（White Light Interferometer）を画像測定機に搭載した高精度デュアルヘッド測定システムになります。
- 寸法測定と微細高さ・表面性状解析が混在するワークには一台二役の高効率測定を実現します。
仕様
| Model No. | Hyper QV WLI 302 | Hyper QV WLI 404 | Hyper QV WLI 606 | |
| Optical system | QVW-H302P1L-D | QVW-H404P1L-D | QVW-H606P1L-D | |
| Order No. | 363-713 | 363-714 | 363-715 | |
| Measuring range (XxYxZ) | Vision measuring area | 300x200x190 mm | 400x400x240 mm | 600x650x220 mm |
| WLI measuring area | 215x200x190 mm | 315x400x240 mm | 515x650x220 mm | |
| Accuracy | E1X, E1Y | (0.8+2L/1000) µm | ||
| E1Z | (1.5+2L/1000) µm | |||
| E2XY | (1.4+3L/1000) µm | |||
