世界最高水準の測定精度E1XY：（0.25＋L/1000） µmを実現した超高精度CNC画像測定機です。
- 高剛性の固定ブリッジ・Y軸テーブル移動構造で、X･Y軸のガイドには耐摩耗性に優れ、熱安定性の高いグラナイトを採用しました。
- 線膨張係数≒0の結晶化ガラスを使用した最小表示量0.01 µmの高分解能・高精度スケールを採用しました。また「自己吸引型パッド」により、Y軸の高剛性化を実現し、「ボールねじフローティング機構」による誤差を最小限に抑え、かつ駆動速度を向上しました。
仕様
| Model No. | ULTRA QV404 | |
| Measuring range (XxYxZ) | 400x400x200 mm | |
| Observation unit |
PT1X-2X-6X | |
| Imaging device | B&W CCD (1/2 inch) | |
| Accuracy (E1) | E1X, E1Y | (0.25+L/1000) µm |
| E1Z (Full stroke) | (1.5+2L/1000) µm (Range 200 mm) | |
| E1Z (50 mm stroke) | (1.0+2L/1000) µm (Range 10 to 60 mm) | |
| Accuracy (E2) | E2XY | (0.5+2L/1000) µm |
| Tracking auto focus device |
Optional | |
